图像传感器及制作方法

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摘要

本发明提供一种图像传感器及形成方法，通过于衬底上形成第一外延层；采用碳离子注入工艺于所述第一外延层内形成初始第一吸杂层。碳离子可有效吸附金属离子，通过设置退火温度及退火过程，所述碳离子可以和氧离子之间快速反应并生成碳氧簇团，有效提升对金属离子的吸杂速率。同时，退火处理还修复了碳离子注入中带来的损伤。本发明还可以通过设置多层的初始第一吸杂层，以逐级捕获自衬底逃逸出的氧离子及金属离子。

附图

附图 1