气相沉积设备的温控系统、温度控制方法及存储介质 · CN115542972B

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公开（公告）号CN115542972B	申请号CN202211287310.7	专利类型发明授权
状态有效	国家或地区CN	申请人拓荆科技股份有限公司
分类号G05D23/20(2006.01), C23C16/505(2006.01)	申请日2022-10-20	公开日2026-10-23
发布日期2026-10-23	文档 ID84601467074200006	源数据页码2013
专利语言zh

摘要

本发明提供了一种气相沉积设备的温控系统、一种气相沉积设备的温度控制方法，以及一种计算机可读存储介质。该气相沉积设备的温控系统包括：至少一个光纤探头，其末端设有感温材料，并接触所述气相沉积设备的外壁的至少一个检测点，其中，所述感温材料在光源的作用下，根据所处温度发出对应衰减时间常数的荧光；光纤，其第一端连接所述光纤探头，而其第二端连接处理器；以及所述处理器，被配置为：经由所述光纤向所述光纤探头提供光源；经由所述光纤从所述光纤探头获取返回的荧光；以及根据所述荧光的衰减时间常数，确定对应检测点的温度。

附图

附图 1