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公开（公告）号CN116490318B | 申请号CN202180071970.9 | 专利类型发明授权 |
状态有效 | 国家或地区CN | 申请人浜松光子学株式会社 |
分类号G02F1/01(2006.01), G02F1/13(2006.01), B23K26/064(2006.01) | 优先权2020.10.23 JP 2020-178067 | 申请日2021-09-29 |
公开日2026-10-23 | 发布日期2026-10-23 | 文档 ID84601486255700002 |
源数据页码2096 | 专利语言zh | |
一种激光装置，具备：激光光源，其出射激光；相位控制部，其用于输入自上述激光光源出射的上述激光，控制上述激光的一部分的光的空间相位并作为控制光出射，且将上述激光的另一部分的光作为非控制光出射；第1光学系统，其用于将自上述相位控制部出射的上述控制光照射于对象物；检测器，其用于检测自上述相位控制部出射的上述非控制光；第2光学系统，其用于将自上述相位控制部出射的上述非控制光朝上述检测器的检测面聚光；及控制部，其执行用于基于来自上述检测器的上述非控制光的检测结果，以修正上述相位控制部中的上述控制光的空间相位的控制状态的方式控制上述相位控制部的修正处理。
附图 1