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公开（公告）号CN116997675B | 申请号CN202280022781.7 | 专利类型发明授权 |
状态有效 | 国家或地区CN | 申请人星火工业有限公司 |
分类号C23C14/34(2006.01), H10P14/20(2026.01), H10P14/00(2026.01), H01J37/34(2006.01), H01J37/32(2006.01), C23C14/35(2006.01) | 优先权2021.01.20 US 63/139,609 | 申请日2022-01-20 |
公开日2026-11-03 | 发布日期2026-11-03 | 文档 ID84696767574100007 |
源数据页码1576 | 专利语言zh | |
描述了一种用于多维结构的等离子体表面改性和高质量镀膜沉积的径向磁控管系统。该系统包括轴向电极、设置在轴向电极的一部分上的靶材材料、来自外部电源的被施加电势、以及附接到轴向电极以用于被施加电势的大电流触点。该系统还包括主永磁体组件和磁体基板，该主永磁体组件包括各个磁性材料元件，其被配置为在向轴向电极施加该被施加电势的情况下产生用于生成霍尔效应致密等离子体区域的靶区磁场，并且该磁体基板在轴向电极内支撑主永磁体组件。磁体基板被配置为提供用于冷却主永磁体组件和轴向电极的通道。
附图 1