一种大口径光斑形貌拼接的测量装置及方法

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摘要

本发明涉及一种大口径光斑形貌拼接的测量装置及方法，该装置包括：分光镜：设于待测激光器之后，用于将待测激光器射出的大口径光束分成两路，为第一光束和第二光束，分别用于光束稳定性测量和光斑形貌采集；光束稳定性监测模块：该模块包括依次设于分光镜之后的聚焦透镜、第一快门、第一衰减片和第一CCD，用于通过监测第一光束的稳定性情况，计算相对光束基准位置偏移量；光斑形貌采集模块：该模块包括依次设于分光镜之后的第二衰减片、第二快门、第二CCD和二维电机，用于基于偏移量逐个采集第二光束的ROI图像并进行拼接，得到全口径光斑形貌。与现有技术相比，本发明解决了脉冲激光光束抖动引起的拼接效果不佳问题。

附图

附图 1