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公开（公告）号CN117732628B | 申请号CN202211123460.4 | 专利类型发明授权 |
状态有效 | 国家或地区CN | 申请人长鑫存储技术有限公司 |
分类号B05B7/04(2006.01), B05B7/12(2006.01), B08B3/02(2006.01), B08B5/02(2006.01) | 申请日2022-09-15 | 公开日2026-10-23 |
发布日期2026-10-23 | 文档 ID84601504792200004 | 源数据页码2164 |
专利语言zh | ||
本公开涉及一种石英管清洗装置、雾化喷淋头及其雾化方法，雾化喷淋头包括：本体、第一开关组件以及第二开关组件。本体设有混合腔室、进液口、进气口与雾化排气孔，进液口、进气口与雾化排气孔分别和混合腔室相连通。第一开关组件设置于本体上，用于控制进液口打开或关闭。第二开关组件设置于本体上，用于控制雾化排气孔打开或关闭。当混合腔室内部的气压达到一定程度后，第二开关组件打开，混合腔室内部的气体与清洗液的混合物经过雾化排气孔向外排出，并在经过雾化排气孔的过程中形成雾化气体，向外排出的雾化气体对石英管的清洗效果较好，清洗效率较高，同时能节省清洗液，且雾化喷淋头的产品结构较为简单，成本低廉。
附图 1