晶圆上异常晶粒的筛选方法及系统、计算机程序产品及装置

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摘要

本发明提供了一种晶圆上异常晶粒的筛选方法及系统、计算机程序产品及装置。所述方法包括：获取待测晶圆上的所有晶粒的参数数据；对每一所述参数数据进行转换建立相应的CDF概率图，并将所述CDF概率图的数据主分布与数据次分布之间的转换点设置为DPAT规格，以将正常晶粒与异常晶粒分离；以及根据所设置的DPAT规格筛选出所述待测晶圆上所有处于所述DPAT规格以外的晶粒作为异常晶粒，完成所述待测晶圆上异常晶粒的筛选。本发明可实现筛除电性异常的晶粒，达到电性上零缺陷的出货目标；可加强产品的质量和性能的一致；可跟踪从晶圆测试出货到模块终端测试的参数分布，以监控并防止制造链上的任何异常；可持续的闭环分析良率数据，可构建机台和流程的智能管理。

附图

附图 1