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公开（公告）号CN121252716B | 申请号CN202511421868.3 | 专利类型发明授权 |
状态有效 | 国家或地区CN | 申请人上海交通大学 |
分类号G01B21/00(2006.01), G01B21/02(2006.01) | 申请日2025-09-30 | 公开日2026-10-23 |
发布日期2026-10-23 | 文档 ID84601517807000004 | 源数据页码2238 |
专利语言zh | ||
本发明涉及机械设备技术领域，提供了一种基于输入端信号的超精密驱动器及其传感方法，基于输入端信号的超精密驱动器的传感方法包括模型构建步骤、参数求解步骤以及信号传感步骤。本发明通过输入精密驱动器的位移信号和基于流体环节模型解算的传动比获取输出杆的位置信息，整体集成度更高，安装要求更低，在输出端空间有限及存在强电磁干扰的情况下具有独特优势，尤其是当采用位移缩小构型时，通过精度相对不高的输入精密驱动器的位移信号可实现更高精度的纳米/亚纳米级位移检测。
附图 1