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公开（公告）号CN121784497B | 申请号CN202512009679.1 | 专利类型发明授权 |
状态有效 | 国家或地区CN | 申请人经纬光学科技（苏州）有限公司 |
分类号G01R31/26(2020.01), H10P74/20(2026.01), H10P74/00(2026.01) | 申请日2025-12-29 | 公开日2026-10-23 |
发布日期2026-10-23 | 文档 ID84601479262100013 | 源数据页码2044 |
专利语言zh | ||
本发明公开了一种全自动探针平台用的控制系统及其方法，涉及半导体制造与测试设备技术领域，包括接触事件感知处理模块：通过连接测试机信号输出接口，对选定的测试通道施加直流偏压，并持续以高采样率监测回路电流，生成电气反馈信号，并实时计算电气反馈信号的电流变化率，基于本底噪声标定预设阈值进行对比分析；本发明通过实时捕捉电流判断接触起始事件，并立即切换控制模式，系统能够主动响应而非被动承受接触状态的变化，实现了接触过程的智能化与自适应控制，且切换控制模式是采用直接力控制模式作为接触过程的主控策略，确保了整体接触压力不会超过安全阈值，有效防止了过压损伤与接触不良。
附图 1