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公开（公告）号CN121878991B | 申请号CN202610187475.9 | 专利类型发明授权 |
状态有效 | 国家或地区CN | 申请人云南大学 |
分类号G02B27/09(2006.01) | 申请日2026-02-10 | 公开日2026-10-23 |
发布日期2026-10-23 | 文档 ID84601490082400006 | 源数据页码2133 |
专利语言zh | ||
本发明涉及应用于激光光束整形技术领域的一种飞秒激光平顶光束的调控系统及方法，包括飞秒激光源、扩束镜、分光模块、第一与第二空间光调制器（SLM）、合光模块、实时监测反馈模块及控制单元。其核心在于通过“第一SLM静态整形、第二SLM动态补偿”的双路并行架构，将基础平顶光束生成与高速动态调制任务分离。控制单元被配置为执行两种可智能协同的工作模式：轮廓跟踪模式以不低于1kHz速率切换预生成相位图序列，使光束轮廓实时匹配异形轨迹；在线校正模式基于实时反馈生成补偿相位图，校正热透镜效应等光斑畸变。本发明解决了单SLM系统无法兼顾高速动态整形与实时抗干扰的难题，实现了飞秒激光平顶光束在高端动态精密加工中的应用。
附图 1