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公开(公告)号CN121977651B | 申请号CN202610294835.5 | 专利类型发明授权 |
状态有效 | 国家或地区CN | 申请人西安交通大学 |
分类号G01D21/02(2006.01), G01D5/353(2006.01) | 申请日2026-03-11 | 公开日2026-10-23 |
发布日期2026-10-23 | 文档 ID84601513216200010 | 源数据页码2229 |
专利语言zh | ||
本发明涉及光纤传感技术领域,具体涉及一种双参数测量光纤传感器及其制作方法。本发明的双参数测量光纤传感器包括光纤和设置于光纤一端的传感单元;传感单元是由布拉格反射镜和贵金属纳米薄膜依次排列组成,贵金属纳米薄膜上具有呈阵列排布的纳米结构单元,传感单元能够激发两种谐振模式,使外界介质的折射率变化量和温度变化量引发两种谐振模式的谐振波长移动,实现对外界介质的折射率与温度的同时测量。本发明通过改进金属纳米薄膜,以激发两种谐振模式,提高检测的灵敏度,同时,还能简化加工难度,提高结构稳定性,实现折射率与温度的精准解耦测量。
附图 1