一种晶圆全自动检测分选设备

著录项目

摘要

本申请涉及一种晶圆全自动检测分选设备，涉及自动分选设备技术领域。该设备包括机架、上料架、检测件、多个分选架、取放料件、多个下料架、取放盘件和取放盘驱动件。上料架用于承载多个待检测晶圆盘；检测件对晶圆进行质量检测并输出质量等级信号；多个分选架沿第一方向间隔设置，分别对应不同的质量等级；取放料件在上料架、检测件和分选架之间搬运晶圆；下料架与分选架一一对应设置，用于承载已检测晶圆盘；取放盘件在分选架与下料架之间搬运晶圆盘。本申请实现了晶圆从上料、检测、Bin值分选到下料的全流程自动化闭环，解决了现有技术中人工频繁介入、设备停机等待和不同Bin等级晶圆混料风险等技术问题。

附图

附图 1