一种温控压控组合的流量控制方法及控制器

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摘要

本申请提供了一种温控压控组合的流量控制方法及控制器，应用于流体控制技术领域，通过建立同时包含实时压力信号和通道外壁温度的扩展热力学模型，将压力与环境温度作为动态补偿参数直接嵌入质量流量的反解过程中，消除气体入口压力波动和环境温度变化对测量精度的干扰。同时，通过恒温差闭环控制确保加热功率与流量之间的唯一映射关系，配合自适应控制算法对控制阀进行实时调节，实现高精度、高稳定性的流量输出。因此，本申请具有在不依赖频繁离线校准的前提下，有效消除压力与环境温度波动对测量准确性的干扰，显著提升复杂工况下流量测量精度与稳定性的优点。

附图

附图 1