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公开（公告）号CN122938529A | 申请号CN202611434951.9 | 专利类型发明专利 |
状态在审 | 国家或地区CN | 申请人九方流体系统技术（深圳）有限公司 |
分类号B23P11/00(2006.01), B25B11/02(2006.01), F16F15/067(2006.01) | 申请日2026-09-16 | 公开日2026-10-20 |
发布日期2026-10-20 | 文档 ID84597850628100004 | 源数据页码724 |
专利语言zh | ||
本发明公开了半导体制造用中ALD阀的非螺纹连接气缸扣管装置，属于ALD阀生产制造技术领域，包括锁扣组件与承托组件；锁扣组件中包括有前置壳体，前置壳体上设有若干个模具单元。本发明通过锁扣组件与承托组件之间配合作业，实现将生产ALD阀的上、下缸盖快速扣压组装在一起，使得本发明采取扣压组装方式代替了传统的螺纹连接方式，实现对于ALD阀的生产组装处理，使得ALD阀在扣压组装在一起后，阀门的上、下缸盖之间能一体化锁紧，从而解决了采用传统螺纹连接组装并投入使用的ALD阀，因高温以及运行时所受持续受交变振动、冲击载荷作用，而导致ALD阀上、下缸盖之间发生松动，导致阀门密封性失效，引起阀内介质外泄的情况出现。
附图 1