基于二元移相调制的低相干透镜中心厚度检测方法及装置

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摘要

本发明提供一种基于二元移相调制的低相干透镜中心厚度检测方法及装置，涉及光学精密测量测量技术领域。将低相干测量模块与基于二元移相的高相干测距模块利用波分复用实现共路传输；可移动标准平面镜改变参考臂光程，与待测透镜前后表面的反射光程匹配以产生低相干干涉信号。采用重心法结合积分法进行精准定位，获得透镜前后表面与移动参考透镜构成零光程差对应的位置。在高相干测距模块中利用二元移相生成的三步相位解调算法获得透镜前后表面位置区间的绝对相位差。来回扫描获得两组甚至多组信号提高检测精度，结合材料折射率参数获得透镜中心厚度。该方法降低对高精度机械扫描的强依赖、提升相位解调抗干扰能力和相位分辨率，提高检测精度。

附图

附图 1