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公开（公告）号CN122945277A | 申请号CN202610480706.5 | 专利类型发明专利 |
状态在审 | 国家或地区CN | 申请人IMEC 非营利协会 |
分类号G02F1/01(2006.01), G02F1/21(2006.01), G02B6/12(2006.01) | 优先权2025.04.11 EP 25169971.6 | 申请日2026-04-13 |
公开日2026-10-20 | 发布日期2026-10-20 | 文档 ID84597877517900008 |
源数据页码817 | 专利语言zh | |
本公开涉及集成光学结构（10）。该集成光学结构（10）包括：光波导结构（11）；与光波导结构（11）相距第一距离悬置的梁结构（12），所述梁结构（12）包括第一材料的第一区段（12A）和第二材料的第二区段（12B），其中第一材料是导电材料，第二材料是非导电材料或半导体；与梁结构（12）相距第二距离设置的电极结构（21）；以及电接触结构，该电接触结构被配置成在电极结构（21）与梁结构（12）的第一区段（12A）之间施加电压，感生出在电极结构（21）与第一区段（12A）之间起作用的静电力；其中梁结构（12）被设计成在所述静电力作用下朝向或远离光波导结构（11）弹性弯曲，导致在光波导结构（11）中传播的光学信号的光学特性—尤其是相位—的改变。
附图 1