一种片光门控的多焦点动态寻址三维微纳加工系统及方法

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摘要

本发明公开了一种片光门控的多焦点动态寻址三维微纳加工系统，包括：第一光路模块、第二光路模块和样品加工模块；第一光路模块中第一激光器发射的第一连续光激光束，经由依次设置的数字微镜器件、傅里叶变换透镜、空间滤波光阑和缩束共轭成像组件形成多个曝光焦点；第二光路模块中第二激光器发射的与第一连续光激光束不同波长的第二连续光激光束，入射至片光整形组件形成片状门控光场；第一光路模块产生的多个曝光焦点与第二光路模块产生的片状门控光场分别入射至样品加工模块中基底承载的双步吸收光刻胶内的样品面上，数字微镜器件和三维运动子模块协同作用，实现片状门控光场与多个曝光焦点在样品面上重叠聚合并按照预设的三维微纳结构分布。

附图

附图 1