基于物理约束人工智能的光刻机智能控制系统及其控制方法

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摘要

本发明公开了一种基于物理约束人工智能的光刻机智能控制系统及其控制方法。所述系统包括光刻机本体（含拓扑结构调控装置）、多物理场传感器阵列（含光学编码器、振动传感器、温度传感器等，采样率≥1kHz）、物理本征世界模型（将波动方程、热传导方程等物理规律编码为硬约束）、物理约束AI决策引擎（“数据+物理模型+专家经验”三重驱动，物理约束边界包括套刻精度≤1nm、温度稳定性≤0.001°C）、专家经验知识库、实时补偿执行单元（响应时间≤1ms）和持续学习与演化模块。所述方法通过物理约束确保AI决策的安全性和可解释性，与拓扑结构调控协同实现套刻精度≤0.5nm（3σ），工艺良率≥98%，适用于2nm及以下先进制程光刻控制。

附图

附图 1