输出调节机构、场发射装置以及场发射装置的输出控制方法

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摘要

场发射装置1包括：发射极单元3，在真空容器2中支承发射极31；保护电极4，在真空容器2中设置于发射极31的外周以便可移动地与发射极31接触和分离；靶单元5，具备在真空容器2中与发射极31对置的靶51；栅电极7，设置于发射极单元3与靶51之间；栅电极支承件8，从栅电极7的电极主体部71向发射极单元3的方向延伸并且支承栅电极7以沿所述轴向往复运动；以及支承件保持部10，保持栅电极支承件8以沿所述轴向往复运动。

附图

附图 1