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公开（公告）号CN122953803A | 申请号CN202480089461.2 | 专利类型发明专利 |
状态在审 | 国家或地区CN | 申请人株式会社斯库林集团 |
分类号H10P70/00(2026.01), H10P72/00(2026.01), B01D53/22(2006.01), B01D71/02(2006.01) | 优先权2024.03.21 JP 2024-044858 | 申请日2024-11-21 |
公开日2026-10-20 | 发布日期2026-10-20 | 文档 ID84597656024800000 |
源数据页码1 | 专利语言zh | |
本申请说明书所公开的技术为一种现有技术未解决的IPA蒸气与水蒸气的混合蒸气的分离技术。本申请说明书所公开的技术的基板处理装置具有：处理腔室，收纳贮存有纯水的处理槽，使基板浸渍在纯水中来处理基板；有机溶剂蒸气供给部，将有机溶剂的蒸气供给至处理腔室内；升降机，在从处理槽取出浸渍在纯水中的基板时，一边使有机溶剂的蒸气与基板接触一边提起基板；吸气部，从处理腔室内吸入在处理腔室内所生成的混合蒸气；以及分离膜，将被吸气部吸入的混合蒸气中的纯水的蒸气与有机溶剂的蒸气分离；混合蒸气包含纯水的蒸气以及有机溶剂的蒸气。
附图 1