一种光罩保护膜的铝框的铣削成型加工方法

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摘要

本发明涉及半导零部件加工技术领域，公开了一种光罩保护膜的铝框的铣削成型加工方法，包括以下步骤：步骤一、提供一柱状铝材，在该柱状铝材的底部加工出螺孔，并以螺栓将该柱状铝材固定于加工机具的基座上；步骤二、在所述柱状铝材的顶部中央加工一工艺凸台，该工艺凸台的径向尺寸小于待加工铝框的内径；步骤三、将一可膨胀式芯轴安装于所述工艺凸台上，所述可膨胀式芯轴包括弹性胀套和锥形拉杆，通过旋紧所述锥形拉杆使所述弹性胀套沿径向向外膨胀；通过在柱状铝材中央设置可膨胀式芯轴，在加工过程中对薄壁铝框提供径向反向支撑，有效抵消刀具的径向切削力，防止铝框侧壁产生弹性变形，显著提高了铝框的圆度和尺寸精度。

附图

附图 1