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公开（公告）号CN122961553A | 申请号CN202510510666.X | 专利类型发明专利 |
状态在审 | 国家或地区CN | 申请人北京振兴计量测试研究所 |
分类号G01J5/10(2006.01) | 申请日2025-04-23 | 公开日2026-10-23 |
发布日期2026-10-23 | 文档 ID84601393573100009 | 源数据页码1616 |
专利语言zh | ||
本发明涉及光学测试技术领域，公开一种基于同步辐射源的真空紫外波段低温辐射计系统，包括无窗口低温辐射计、同步辐射源、滤光片、滤波池、单色分光单元和束线阀门，低温辐射计直接与同步辐射源的同步辐射束线的末端对接，接收极紫外至真空紫外的光源发出的光线，束线阀门位于同步辐射束线的前端，低温辐射计的吸收腔采用斜底圆柱腔，束线阀门打开时光线经单色分光单元和滤光片或经单色分光单元和滤波池后进入低温辐射计的吸收腔，使得吸收腔内温度上升并维持在第一温度，束线阀门关闭时，光线被挡住，低温辐射计的加热单元对吸收腔进行加热使得吸收腔内温度上升并维持在第一温度，从而测得加热单元加热并维持在第一温度的电加热功率作为光功率。
附图 1