一种缺陷检测方法、装置、计算机设备、存储介质

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摘要

本申请涉及一种缺陷检测方法、装置、计算机设备、存储介质。所述方法包括：获取待检测晶圆的版图；对所述版图的二值图像进行分割，得到独立区域；对所述独立区域进行编号标记，得到版图中的多个模板；获取待检测晶圆的扫描图像，所述扫描图像中包括缺陷点；将所述缺陷点的位置坐标映射至所述版图的对应位置，得到所述版图中包括缺陷点的局部图像；将所述局部图像的傅里叶特征值与所述模板的傅里叶特征值进行比较，得到所述待检测晶圆的缺陷位置类别。

附图

附图 1