晶片载放台 · CN122972179A

著录项目

公开（公告）号CN122972179A	申请号CN202480001937.2	专利类型发明专利
状态在审	国家或地区CN	申请人日本碍子株式会社
分类号H10P72/78(2026.01), H10P72/00(2026.01)	申请日2024-03-18	公开日2026-10-23
发布日期2026-10-23	文档 ID84601311779900003	源数据页码1
专利语言zh

摘要

晶片载放台10具备：陶瓷板20，其具有气体能够沿上下方向通过的插塞50；导电性板30，其内置有气体导入路34；以及树脂层40，其将两者接合。树脂层贯通孔42设置于树脂层40的与插塞50对置的位置，在俯视观察下比插塞50大。气体导入路34借助树脂层贯通孔42而与插塞50连通。导电性膜60设置于陶瓷板20的下表面的与树脂层贯通孔42对置的位置，在俯视观察下比树脂层贯通孔42大，容许气体从气体导入路34朝向插塞50流通。接触部件70设置于气体导入路34内，将导电性膜60和导电性板30电连接，容许气体从气体导入路34朝向插塞50流通。

附图

附图 1