一种钎焊铜靶材组件的抛光方法、靶材组件、镀膜产品

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摘要

本申请涉及一种钎焊铜靶材组件的抛光方法、靶材组件、镀膜产品，具体涉及靶材抛光领域，包括：S1、对钎焊铜靶材组件的焊缝处进行焊料去除，之后对焊缝处进行第一打磨；对钎焊铜靶材组件中铜靶材的侧面进行第二打磨，之后进行R角打磨，然对侧面进行第三打磨；S2、对钎焊铜靶材组件中铜靶材的溅射面进行梯级打磨，其中，S1和S2不分先后。本申请提供的抛光方法，通过对钎焊铜靶材组件的不同区域设计不同的打磨过程，能够实现钎焊铜靶材组件的高效抛光，抛光更加稳定，保证了产品溅射面的稳定性，可操作性强，有效节约成品。