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公开（公告）号CN122977716A | 申请号CN202611367897.0 | 专利类型发明专利 |
状态在审 | 国家或地区CN | 申请人合肥工业大学 |
分类号C03C23/00(2006.01), B23K26/364(2014.01), B23K26/70(2014.01), B23K26/60(2014.01), B23K26/064(2014.01) | 申请日2026-09-04 | 公开日2026-10-27 |
发布日期2026-10-27 | 文档 ID84635782744500009 | 源数据页码159 |
专利语言zh | ||
本发明涉及激光加工技术领域，具体涉及一种飞秒激光加工双圆弧沟槽的加工系统及方法。加工系统包括飞秒激光装置、光路切换组件、垂直光路系统、倾斜光路系统、三维移动平台一和三维移动平台二。光路切换组件用于在工件进行基底粗糙化时将激光束传递至垂直光路系统，并通过垂直光路系统对三维移动平台一上的工件进行基底粗糙化。光路切换组件还用于在工件置于三维移动平台二后将飞秒激光产生的激光束传递至倾斜光路系统，并通过倾斜光路系统在工件上加工出带有双圆弧沟槽的工件。加工后的工件侧壁粗糙度小且有效接触面积大，从而使得加工后的工件可实现液滴定向输运、抑制液滴回弹，最终实现同步提升器件光学性能与长期使用可靠性。
附图 1