一种半导体光源空间角分布能量场的动态扫描测量方法

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摘要

本发明公开了一种半导体光源空间角分布能量场的动态扫描测量方法，涉及半导体光学检测技术领域。该方法应用于双轴扫描机构，以发光中心为原点建立角空间测量坐标系，驱动探测器绕发光中心做球面轨迹连续扫描，并同步采集探测器输出的原始光功率值、编码器反馈角度与时间戳；对原始光功率值依次进行温度漂移补偿、机械偏心误差修正、距离一致性补偿、探测器响应非线性修正及空间角功率密度补偿，得到带有实际空间角度坐标的校正角空间功率数据；再经标准角度网格重采样、球面坐标映射、空间插值与连续曲面拟合，生成被测对象的三维角空间能量分布模型。本发明能够适用于高方向性光源及微结构发光器件的精密测试。

附图

附图 1