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公开（公告）号CN122983088A | 申请号CN202611180797.7 | 专利类型发明专利 |
状态在审 | 国家或地区CN | 申请人超音速人工智能科技股份有限公司 |
分类号G01N21/958(2006.01), G01N21/88(2006.01), G01N1/28(2006.01) | 申请日2026-08-04 | 公开日2026-10-27 |
发布日期2026-10-27 | 文档 ID84635794218500010 | 源数据页码1547 |
专利语言zh | ||
本发明公开一种柔性隔膜离线检测装置及其检测方法，该装置检测单元中的静电吸附平台安装于机架上，静电吸附平台内嵌有多个相互绝缘的导电电极，集成式处理组件水平滑动连接在机架上，集成式处理组件沿其移动方向集成有柔性刮平件和视觉检测组件，控制模块分别与分区静电发生器、集成式处理组件及视觉检测组件电性连接，本申请采用分区动态静电吸附与自适应柔性刮平相结合的方案，通过根据刮平压力的实时反馈微调弹性刮刀，并针对性调节区域静电吸附力，实现了超薄隔膜的无损伤平整，解决了因基材翘曲、吸附不稳导致的成像平面度差及微缺陷漏检问题，提升了检测精度。
附图 1