基于晶圆级MEMS堆叠结构的无光纤NV色心量子电流传感方法、系统、设备及介质

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摘要

本发明涉及电流传感技术领域，特别是基于晶圆级MEMS堆叠结构的无光纤NV色心量子电流传感方法、系统、设备及介质。向量子敏感层发射激发光，激励其中色心产生自旋极化；对色心施加交变磁场，待测电流产生的感应磁场使色心能级发生偏移；采集色心受激发出的荧光，得到光电信号；对光电信号进行差分解调，得到反映能级偏移的共振信号，并结合温度补偿对共振信号进行反演修正，得到待测电流的电流值。本发明摒弃光纤耦合路径，利用晶圆级层叠结构集成光源、量子敏感层与光电探测器，通过差分解调与温度补偿抑制环境噪声与温度漂移，解决现有NV色心电流传感器体积庞大、光纤耦合不稳定及抗干扰能力弱的问题。

附图

附图 1