一种基板的夹持装置

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摘要

本申请涉及一种基板的夹持装置，包括：旋转卡盘，用于承载基板；销组件，包括至少三个周向设于所述旋转卡盘的销结构；至少一个所述销结构为活动销并可转动地设于所述旋转卡盘；磁力驱动组件，被配置为向所述活动销施加磁力以驱动所述活动销移动，使所述活动销与其余的所述销结构配合夹持所述基板；所述磁力驱动组件在所述活动销移动的过程中对所述活动销提供第一磁力，在所述活动销夹持所述基板后对所述活动销提供第二磁力，所述第二磁力大于所述第一磁力。本发明在基板夹持过程中减少了对基板造成撞击的情况的发生。

附图

附图 1