一种干膜结构及其制备方法 · CN122995737A

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公开（公告）号CN122995737A	申请号CN202611085787.5	专利类型发明专利
状态在审	国家或地区CN	申请人华天科技（江苏）有限公司
分类号H10W74/47(2026.01), H10W74/01(2026.01)	申请日2026-07-21	公开日2026-10-27
发布日期2026-10-27	文档 ID84635771630600009	源数据页码9
专利语言zh

摘要

本发明提供了一种干膜结构及其制备方法，其有效阻挡等离子体对干膜基体的刻蚀，避免填料外露与表面损伤，从根本上解决干膜可靠性开裂的问题；同时兼容现有封装与干膜生产制程，不影响干膜原有核心性能，量产性好、成本可控。其包括：干膜层，其包括填料、有机树脂，所述有机树脂将填料封装设置；以及有机钝化层；所述干膜层的表面设置有所述有机钝化层。

附图

附图 1