声学阻尼装置、流体输送系统、温度调节系统和光刻设备

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摘要

本发明提供一种声学阻尼装置，所述声学阻尼装置包括外壳和内管，所述外壳包围流动通道，所述流动通道具有连接到液体入口的第一端和连接到液体出口的第二端，所述内管布置在所述外壳内，其中，在所述内管内限定一阻尼空间，5其中，所述流动通道在所述内管与所述外壳之间延伸，并且其中，所述内管至少部分地由弹性材料或粘弹性材料制成，以阻尼流动通过所述流动通道的流体中的压力波。

附图

附图 1