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公开（公告）号CN123003802A | 申请号CN202611111451.1 | 专利类型发明专利 |
状态在审 | 国家或地区CN | 申请人瑞红（苏州）电子化学品股份有限公司 |
分类号C08G8/24(2006.01), G03F7/004(2006.01), G03F7/038(2006.01) | 申请日2026-07-24 | 公开日2026-10-30 |
发布日期2026-10-30 | 文档 ID84661706385000006 | 源数据页码166 |
专利语言zh | ||
本申请提供了一种负性光刻胶树脂及其制备方法和光刻胶组合物。所述负性光刻胶树脂为改性酚醛树脂；其制备原料包括；37%甲醛溶液、间甲酚、对甲酚、耐热混酚，所述耐热混酚包括间苯二酚、4‑马来酰亚胺基苯酚、3‑(三甲硅基)苯酚，并制备了包含该树脂的光刻胶组合物。本申请的光刻胶具有优异的耐热性能，在200℃曝光后烘烤条件下仍能保持图形轮廓完整，并适配 i‑line、KrF曝光，具有高解析度。
附图 1