一种片上集成逻辑运算功能的光电机制多维力传感阵列装置及其制备方法

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摘要

本发明属于半导体力学传感器领域，公开了一种片上集成逻辑运算功能的光电机制多维力传感阵列的制备方法，包含片上集成发光、感光、逻辑运算功能的光学芯片和柔性导光材料制备。其中光学芯片内部包含阵列单片集成的多个光学器件单元，每个单元内包含若干发光和感光器件，通过设计电极连接，实现多个片上集成感光器件的串联/并联，进而实现输出光电流信号的逻辑运算。通过片上集成光学传感阵列的发光、感光及逻辑运算功能，可实现多维力传感模块的微型化。

附图

附图 1