双波长同轴光斑差的焦点在线检测装置及方法、激光系统

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摘要

本发明涉及激光焦点检测技术领域，公开了一种双波长同轴光斑差的焦点在线检测装置及方法、激光系统，焦点在线检测装置包含第一波长探测光源模块、第二波长探测光源模块、第一合束分光镜、分色反射镜和成像采集模块；第一合束分光镜和分色反射镜均为二向色镜，对第一波长探测光源模块输出的第一波长探测光高透低反、且对第二波长探测光源模块输出的第二波长探测光高反低透；第一波长探测光、第二波长探测光与加工激光合束成三束同轴光，落在工件表面；反射的双波长同轴探测光进入成像采集模块，获取光斑尺寸差值，得到焦点离焦量。本申请的焦点在线检测装置及方法、激光系统，检测稳定性好，抗干扰能力强，灵敏度高，精度高，在线实时性好。

附图

附图 1