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公开（公告）号CN123009550A | 申请号CN202611041886.3 | 专利类型发明专利 |
状态在审 | 国家或地区CN | 申请人福建星云电子股份有限公司 |
分类号G01R31/26(2020.01), G05B19/042(2006.01) | 申请日2026-07-14 | 公开日2026-10-30 |
发布日期2026-10-30 | 文档 ID84661702172000003 | 源数据页码118 |
专利语言zh | ||
本发明提供了半导体器件测试技术领域的一种多通道碳化硅MOS开启电压一致性评估装置及方法，装置包括一样品承载模块、一电学性能检测模块、一控制模块以及一人机交互模块；所述样品承载模块、电学性能检测模块、控制模块以及人机交互模块依次连接；所述样品承载模块包括若干个依次串联的样品承载单元；各所述样品承载单元均包括串联的一T0‑247封装插座以及一导电连接件；相邻的所述样品承载单元通过导电连接件连接；各所述T0‑247封装插座与电学性能检测模块连接。本发明的优点在于：极大的提升了碳化硅MOS开启电压一致性评估的效率以及精度。
附图 1