图像增益调节方法、装置、控制处理单元及半导体设备

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摘要

本申请公开了一种图像增益调节方法、装置、控制处理单元及半导体设备，以解决相机检测准确性不足的问题。该方法包括：获取包括多个重复芯片单元的待测晶圆预扫描图像；基于芯片单元，从预扫描图像中选取多个候选子区域，每个子区域对应芯片单元中沿预设路径分布的一个块；计算每个候选子区域内符合预设尺寸的多个位置窗口的评分，评分基于图像特征确定；基于评分从各候选子区域中分别选定至少一个位置窗口作为监测区域，以确定图像调节增益系数。本方案充分利用晶圆图像的周期性重复特性，通过量化局部图像质量精确定位最具代表性的评估区域，解决了监测区域选取固定或不当导致增益调节准确性低的问题，提高了准确性并优化了成像质量。

附图

附图 1