一种基于视觉的方形硅片预对准方法及装置

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摘要

本发明公开了一种基于视觉的方形硅片预对准方法及装置，该方法包括：对视觉采集模块进行标定，建立图像坐标系与预设旋转台坐标系之间的坐标映射关系；采集方形硅片多个角部图像并进行图像分割和角部特征提取；判断角部为普通角部或定位切角角部，分别获取实际角点或恢复定位切角角部被切除前的理论角点；将角点坐标转换为物理角点坐标，解算方形硅片的中心位置和旋转角度，获得中心偏移量和角度偏移量；根据定位切角的切除长度关系确定正反面状态，并据此生成面向判断结果；当偏移量超出预设允许范围时，输出校正指令并复检，直至满足预对准要求。本发明能够提高方形硅片预对准的稳定性、适配性和自动化程度。

附图

附图 1