一种具有竖直放片结构的方形晶圆检测装置及检测方法

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摘要

本发明公开一种具有竖直放片结构的方形晶圆检测装置及检测方法，该装置包括减震支托组件、晶圆承载组件、稳衡配重组件、偏转压紧组件、压紧驱动组件、转接载托组件及扫描检测组件。晶圆承载组件通过升降结构安装于减震支托组件中，其内部具有方形晶圆竖直承载空间，由承载托架对方形晶圆底部进行支托，并由承载吸盘进行吸附定位。稳衡配重组件通过转接链绳与晶圆承载组件联动，对升降过程中的重量进行平衡补偿。偏转压紧组件由压紧驱动组件带动，在晶圆上升至检测工位后进行压紧锁定。转接载托组件带动扫描检测组件横向移动，对方形晶圆进行扫描检测。其采用竖直放片方式序，可避免大尺寸方形晶圆水平放置时的重力形变及升降过程中的损伤风险。

附图

附图 1