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公开（公告）号CN123025216A | 申请号CN202611447858.1 | 专利类型发明专利 |
状态在审 | 国家或地区CN | 申请人长沙韶光芯材科技股份有限公司;韶光芯材（浏阳）科技有限公司 |
分类号B24B37/10(2012.01), B24B37/11(2012.01), B24B37/30(2012.01), B24B37/34(2012.01), B24B57/02(2006.01) | 申请日2026-09-17 | 公开日2026-11-03 |
发布日期2026-11-03 | 文档 ID84696779068400002 | 源数据页码212 |
专利语言zh | ||
本发明涉及精密研磨加工技术领域，尤其是涉及一种大尺寸石英基板的研磨加工方法，针对现有单面研磨方法压板覆盖导致磨液分布不均、四角塌边及平行度难以保证的问题，本发明采用具有磁性吸附功能的下定盘将石英毛坯基板吸附固定，套框工装围设基板四周形成侧向限位，上定盘设中心供液通道利用离心力均匀供液，通过调节上下定盘偏心距离及左右摆动距离，按多段式研磨程序依次研磨凸面、凹面及凸面，实现两面平面度和平行度均达到预设值内，适用于大尺寸石英掩膜版空白基板精密研磨加工。
附图 1