光驱动移动式微纳加工头的扫描图案化方法及系统

著录项目

摘要

本发明涉及一种光驱动移动式微纳加工头的扫描图案化方法及系统，在图案化层表面放置具有光热转换能力的微纳结构作为光驱动移动式微纳加工头，在调制光场作用下，光驱动移动式微纳加工头吸收光能并产生光热响应，通过热膨胀形成瞬态热机械驱动力；通过调控光场与加工头的相对位置，使微纳加工头进入捕获跟随或推动模式工作，并沿预设路径运动；利用微纳加工头与图案层之间局域热机械耦合作用，使图案化层材料发生形貌变化、材料去除、相变、解聚、剥离、脱附或物性改变，从而形成微纳尺度图案化结构。本发明无需掩膜和固定探针，通过光驱动移动式微纳加工头替代传统固定扫描探针实现微纳结构图案化加工，适用于纳米电子及光子器件的微纳图案化制造。

附图

附图 1