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公开（公告）号CN224849097U | 申请号CN202522459004.2 | 专利类型实用新型 |
状态有效 | 国家或地区CN | 申请人江西乾照半导体科技有限公司;厦门乾照光电股份有限公司 |
分类号C23C16/458(2006.01), C23C16/52(2006.01), H10P72/30(2026.01) | 申请日2025-11-20 | 公开日2026-10-13 |
发布日期2026-10-13 | 文档 ID84533392038700005 | 源数据页码2555 |
专利语言zh | ||
本实用新型提供一种MOCVD自动上下片机的搬运机构，包括三轴机械臂和设置在三轴机械臂上的第一牙叉、第二牙叉，所述第一牙叉升降设置于第二牙叉的上方；所述第一牙叉下降至靠近第二牙叉时，第一牙叉与第二牙叉形成夹爪机构，用于夹紧卡塞的顶壁，实现卡塞的搬运；所述第一牙叉下降至与第二牙叉水平时，第一牙叉和第二牙叉形成托盘机构，用于承托搬运晶圆或陪片，本申请利用第一牙叉升降靠近第二牙叉或与第二牙叉水平的设计，实现卡塞和晶圆的搬运，提高MOCVD上下片的自动化进程。
附图 1