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公开(公告)号CN224851258U | 申请号CN202522067742.2 | 专利类型实用新型 |
状态有效 | 国家或地区CN | 申请人北京航星机器制造有限公司 |
分类号G01N21/88(2006.01), C30B29/12(2006.01), C30B11/00(2006.01), G01N23/046(2018.01) | 申请日2025-09-25 | 公开日2026-10-13 |
发布日期2026-10-13 | 文档 ID84533827650600005 | 源数据页码2538 |
专利语言zh | ||
本实用新型公开了一种晶体生长可视化监测系统,属于晶体生长技术领域,用于解决晶体生长过程无法实时进行可视化监测的技术问题。本实用新型的可视化监测系统,包括可见光监测单元、X射线监测单元和晶体生长炉;可见光监测单元包括摄像机和可见光源;X射线监测单元包括X射线平板探测器;晶体生长炉的两侧对称的设置有观察窗口,摄像机和可见光源在晶体生长炉的两侧相对布置且分别对准两个观察窗口。本实用新型的可视化监测系统能够实时可视化观察晶体宏观形貌和晶体生长微观界面,可大幅度提高研发效率。
附图 1