加工平台组件及激光表切设备 · CN224852530U

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公开（公告）号CN224852530U	申请号CN202522402723.0	专利类型实用新型
状态有效	国家或地区CN	申请人深圳镁伽科技有限公司
分类号H10P54/20(2026.01), B23K26/08(2014.01), B23K26/38(2014.01)	申请日2025-11-12	公开日2026-10-13
发布日期2026-10-13	文档 ID84533805496600000	源数据页码2529
专利语言zh

摘要

本公开的实施例涉及晶圆加工技术领域，本公开提供了加工平台组件及激光表切设备，加工平台组件用于激光表切设备，包括安装台、加工载台以及相机组件；加工载台用于承载并移动工件，加工载台可移动地安装在安装台上，安装台具有位于加工载台下方的容纳空间，相机组件安装于容纳空间中，用于拍摄加工载台所承载的工件，加工载台具有用于供相机组件拍摄的采集口。激光表切设备包括加工平台组件，还包括激光器，激光器设置在相机组件的一侧，且位置高于第一移动台，用于对工件进行表切，第一移动台被配置为能够转运工件于激光器与相机组件之间。通过上述技术方案解决了现有技术中，加工平台难以实现工作部件从下往上工作的技术问题。

附图

附图 1