立式炉管设备

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摘要

本实用新型涉及半导体设备制造技术领域，提供一种立式炉管设备，包括立式炉体、升降机构、晶舟、传送机器人和晶圆载具平台；晶舟立设于升降机构上，在升降机构的驱动下可在立式炉体内进出；晶圆载具平台设在升降机构的一侧，设有多个存放晶圆载具的位置；传送机器人与升降机构及晶圆载具平台相邻设置，传送机器人包括机器人本体、手臂和手指，手臂的一端连接在机器人本体上，手指与手臂另一端连接，手指远离手臂的一端上设有手指头部引导限位挡块，靠近手臂的一端上设有手指尾部晶圆引导块，手臂与手指连接处设有可伸缩的手指尾部晶圆推夹持块。本实用新型使晶圆中心校准定位方便快捷，有助于提高传片准确性，且设备结构简洁，使用方便。

附图

附图 1