一种晶圆刻蚀夹持模组

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摘要

本实用新型属于晶圆刻蚀技术领域，具体涉及一种晶圆刻蚀夹持模组，包括：模组架，所述模组架包括固定环、与所述固定环平行间隔设置活动环、一端固定连接固定环且另一端贯穿所述活动环的限位杆及螺纹连接所述限位杆端部的组装螺母；夹持单元，多个所述夹持单元均匀间隔固定在所述模组架上。本实用新型设置模组架和夹持单元等多个部件，模组架可容纳多个夹持单元，每个夹持单元可同时夹装2片晶圆，这样一次可同时处理数十片晶圆，可提高晶圆刻蚀效率；且整个装置稳定，不会因振动或刻蚀液体晃动而出现倾倒。另外通过间隔筒的设置可以便刻蚀腔内的化学溶液接触夹持单元内夹持固定的晶圆进而实现对晶圆均匀刻蚀。

附图

附图 1